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真空箱式氦检漏系统操作规程
一、预启动检测:
1、检测提供给系统的压缩空气(压力大于0.6MPa的洁净压缩空气)。
2、检测吹氮装置的氮气供应压力在0.2MPa之间。
3、确保总电源打开。
4、确保所有紧急停止按钮处于释放状态。
5、检查输入氦气瓶的压力为0.1MPa。
6、检查高压氦气罐出口手动阀处于打开状态。
7、检查排气管路的出口通畅。
8、检查PLC通信接口没有与其它任何通信电缆连接。
9、检查PLC主机的运行状态是否存在运行状态